1200度單溫區(qū)滑竿式CVD系統(tǒng)
主要技術(shù)參數(shù)
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TL1200滑動(dòng)管式爐
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型號(hào) |
TL1200-H-C--I |
TL1200-H-C--II |
TL1200-H-C--III |
TL1200-H-C--IV |
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功率 |
2.5KW |
3.5KW |
3.5KW |
5 KW | ||
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爐管尺寸 |
Dia60(OD)X1500mm |
Dia80(OD)X1500mm |
Dia100(OD)X1500mm |
Dia120(OD)X1500mm |
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外形尺（LXDXH） |
1800X700X1500 |
1800X700X1500 |
1800X700X1500 |
1800X700X1600 |
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電源電壓 |
220V |
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相數(shù) |
單相 |
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加熱元件 |
電阻絲 |
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控制方式
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采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)， 主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)，主電路斷開(kāi)，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購(gòu)）
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控溫模式 |
智能PID |
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斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
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過(guò)溫保護(hù) |
有 |
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過(guò)流保護(hù) |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國(guó)西門(mén)康 |
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最高溫度 |
1200 ℃ |
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額定溫度 |
1150 ℃ |
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升溫速率 |
≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤15℃/ Min |
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熱電偶型號(hào) |
K 型 |
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加熱段長(zhǎng)度 |
440mm |
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電器認(rèn)證 |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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閥門(mén)和法蘭
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GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
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流量控制和檢測(cè)采用
D07-7C 質(zhì)量流量計(jì)
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標(biāo)準(zhǔn)量程 |
采用質(zhì)子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇量程和所通氣體的類(lèi)型） |
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最大工作壓力 |
3MP |
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準(zhǔn)確度 |
±1.5% |
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氣壓降 |
<0.01mpa< p=""> |
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重復(fù)精度 |
±0.2% F.S |
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路數(shù) |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） |
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接頭類(lèi)型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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系統(tǒng)工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
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工作溫度 |
5-45℃ |
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壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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靜態(tài)混氣室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 1/4” |
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VS-0.1抽氣系統(tǒng)
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電源 |
220V |
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尺寸 |
600X600X600 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) |
10 -1Pa |
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真空擋板閥 |
KF25 |
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VRD-8真空泵
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型號(hào) |
VRD-8 |
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極限分壓強(qiáng) |
5X10-2 Pa |
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進(jìn)排氣接口 |
KF25 |
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電機(jī)轉(zhuǎn)速 |
1440RPM |
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抽氣速率 |
2.2L/S |
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電機(jī)功率 |
0.4KW |
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無(wú)油多級(jí)羅茨泵
（方案 二） |
型號(hào) | ACP15 | ||||
| 電源 | AC100~240V 50/60HZ | |||||
| 功率 | 450W | |||||
| 抽、排氣接口 | KF25 | |||||
| 重量 | 25KG | |||||
| 最大氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||||
| 極限真空度 | 0.02 Torr | |||||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | |||||
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電阻真空計(jì) |
型號(hào) |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度測(cè)量范圍 |
0.1-10 5 Pa |
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電阻硅 |
ZJ-52T |
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瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計(jì) （選購(gòu)）
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型號(hào) |
PCG554 |
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輸入電壓 |
24V 1A DC（配有220V變壓器） |
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真空計(jì)接口 |
KF16 |
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數(shù)字顯示 |
數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr |
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產(chǎn)品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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檢測(cè)氣體 |
可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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響應(yīng)時(shí)間 |
≤30ms |
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測(cè)量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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分子泵機(jī)組（選購(gòu)）
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機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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機(jī)箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵
（方案一）
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分子泵型號(hào) |
FJ620 |
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輸入電壓 |
380V |
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分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃< p=""> |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟東壓強(qiáng) |
<100pa< p=""> |
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
380V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進(jìn)氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機(jī)泵抽氣速率（L/S） |
6 |
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極限壓強(qiáng) |
4X10 -2Pa |
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電壓 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽氣接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前機(jī)泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽氣速率（N2） |
33L/S |
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復(fù)合真空計(jì)型號(hào) |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計(jì)測(cè)量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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Perfeer ACP15
質(zhì)保期
一年保修，終身技術(shù)支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項(xiàng)
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)使用的爐管為剛玉管時(shí)，爐體溫度高于1500℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊
5.對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝
7.MoSi2加熱元件不得長(zhǎng)時(shí)間在在低溫下(400℃-700℃)使用,否則將可能損壞加熱元件
TL1200-H 4通道滑竿式CVD系統(tǒng)由 4路供氣系統(tǒng)+TL1200滑動(dòng)管式爐+抽氣系統(tǒng)組成！ 滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)是管式爐爐底安裝一對(duì)滑軌，可用手滑動(dòng)。可以達(dá)到快速升降溫的目的，為取得最快加熱速率，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動(dòng)爐子到樣品區(qū)。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。物料可以在真空或者惰性氣體環(huán)境下的升溫速率或降溫速率達(dá)到100°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。
1、瑞典Kanthal A1 電阻絲
Kanthal A1 原絲 國(guó)產(chǎn)電阻絲爐膛 VS 進(jìn)口電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶(hù)識(shí)別時(shí)要注意）、不會(huì)生銹，使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站：www.kanthal.com
(5)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好
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大部分廠家使用的首鋼生產(chǎn)的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲 Kanthal A1 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
有時(shí)候電阻不均衡、一部分發(fā)熱量大一部分發(fā)熱量小 溫場(chǎng)效果好
2、安裝有空氣開(kāi)關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過(guò)流或漏電時(shí)，空開(kāi)會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線(xiàn)電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)
4、采用4周加熱，溫場(chǎng)更加均衡
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過(guò)UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、認(rèn)證
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7、底腳
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描敘 |
數(shù)量 |
圖片 |
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TL1200管式爐 |
1 套 |
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石英管 |
1根 |
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不銹鋼法蘭 |
1 套 |
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不銹鋼爐鉤 |
1 個(gè) |
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氧化鋁爐塞 |
3個(gè) |
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高溫手套 |
1 雙 |
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氧化鋁坩堝 |
1個(gè) |
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| Ｋ型熱電偶 | 1個(gè) |  |
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485轉(zhuǎn)換接口和軟件（選配） |
1 套 |
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說(shuō)明書(shū) |
1本 |
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法蘭支撐架 |
1 份 |
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供氣系統(tǒng)
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1臺(tái) |  |
| VS-0.1抽氣系統(tǒng) | 1臺(tái) |  |
| 卡套 | 4個(gè) |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個(gè) |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數(shù)） | N個(gè) |  |
| 閥門(mén)接頭 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) | NX5 |  |
