1200度雙溫區可調真空CVD雙管爐
主要技術參數
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TL1200雙管管式爐
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型號 |
TL1200-D-C-I |
TL1200-D-C-II |
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功率 |
3.6KW |
3.6KW |
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外管尺寸(mm) |
Dia 80(ID73）X1500 |
Dia 100(ID93) X1500 |
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內管尺寸（mm） |
Dia 60(ID53）X1700 |
Dia 80(ID73）X1700 |
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外形尺（LXDXH） |
2000X700X1500 |
2000X700X1500 |
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電源電壓 |
220V |
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相數 |
單相 |
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加熱元件 |
進口瑞典Canthal A1 電阻絲 點擊進入資料下載 |
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控制方式
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采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節。 2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時， 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進口儀表，需要另外付費，選購）
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控溫模式 |
智能PID |
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斷偶保護和顯示 |
有 |
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過溫保護 |
有 |
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過流保護 |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發器 |
移相觸發 |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
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最高溫度 |
1200 ℃ |
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額定溫度 |
1100 ℃ |
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升溫速率 |
≤30 ℃/ Min （可根據要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤15℃/ Min |
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熱電偶型號 |
K 型 |
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加熱段長度 |
205+205mm |
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電器認證 |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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流量控制和檢測采用
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量程和氣體 |
采用質子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型） |
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耐壓 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作（使用）壓力 |
0.3MPa |
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線性 |
±0.5%F.S. |
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重復精度 |
±0.2% F.S |
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路數 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） |
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接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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系統工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
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工作溫度 |
5-45℃ |
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壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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靜態混氣室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 1/4” |
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VS-0.1抽氣系統
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電源 |
220V |
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尺寸 |
600X600X600 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統抽爐管真空度可達 |
10 -1Pa |
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真空擋板閥 |
KF25 |
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型號 |
VRD-8 |
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極限分壓強 |
5X10-2 Pa |
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進排氣接口 |
KF25 |
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電機轉速 |
1440RPM |
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抽氣速率 |
2.2L/S |
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電機功率 |
0.4KW |
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（方案二） |
型號 | ACP15 | |
| 電源 | AC100~240V 50/60HZ | ||
| 功率 | 450W | ||
| 抽、排氣接口 | KF25 | ||
| 重量 | 25KG | ||
| 最大氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||
| 極限真空度 | 0.02 Torr | ||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | ||
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電阻真空計 |
型號 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度測量范圍 |
0.1-10 5 Pa |
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電阻硅 |
ZJ-52T |
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（選購）
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型號 |
PCG554 |
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輸入電壓 |
24V 1A DC（配有220V變壓器） |
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真空計接口 |
KF16 |
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數字顯示 |
數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr |
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產品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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檢測氣體 |
可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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響應時間 |
≤30ms |
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測量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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分子泵機組（選購）
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機組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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機箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵
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分子泵型號 |
FJ620 |
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輸入電壓 |
380V |
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分子泵進氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃< p=""> |
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環境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟東壓強 |
<100pa< p=""> |
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（方案一）
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
380V |
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轉速 |
1450rpm |
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進氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機泵抽氣速率（L/S） |
6 |
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極限壓強 |
4X10 -2Pa |
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電壓 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽氣接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前機泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽氣速率（N2） |
33L/S |
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復合真空計
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復合真空計型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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CVD系統 由供氣系統+雙管管式爐+抽氣系統 ，最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統是由3路供氣系統+TL1200雙管管式爐+低真空系統組成
雙管管式爐不同于普通的管式爐，他是由雙管組成、襯底包覆在內管上、形成一個環狀，這樣能夠大大的提高CVD生長的面積。
滑動式雙管爐是一種特殊的CVD系統，是專門為在金屬箔（像銅箔、鋁箔等）上生長薄膜而設計，廣泛應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究上，特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長。這款雙管式爐以進口電阻絲康泰爾（Canthal）為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。
雙管管式爐爐底安裝一對滑軌，可用手推滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/min。為取得快速加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得快速冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。
1、瑞典Kanthal A1 電阻絲
Kanthal A1 原絲 國產電阻絲爐膛 VS 進口電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網站：www.kanthal.com
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
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大部分廠家使用的首鋼生產的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲 Kanthal A1 電阻絲 電阻均勻 、 發熱量均衡
有時候電阻不均衡、一部分發熱量大一部分發熱量小 溫場效果好
2、安裝有空氣開關和漏電保護器：
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
、
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本成熟的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認證電氣板 （全部通過UL認證的進口電器）
6、認證
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7、法蘭
鉸鏈式法蘭（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
可調真空：通過調節真空擋板閥閥門開關和用微電腦調節真空泵電機的轉速來實現雙管管式爐內真空度在10-10000Pa之間某一范圍內恒定。
雙管CVD系統標準配件
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描敘 |
數量 |
圖片 |
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TL1200雙管管式爐 |
1 套 |
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石英管（內外石英管） |
各1根 |
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雙管不銹鋼法蘭 |
1 套 |
右法蘭 左法蘭
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|
不銹鋼爐鉤 |
1 個 |
|
|
氧化鋁爐塞 |
1對 |
|
|
高溫手套 |
1 雙 |
|
|
氧化鋁坩堝 |
1 個 |
|
| Ｋ型熱電偶 | 1個 |  |
|
485轉換接口和軟件（選配） |
1 套 |
|
|
說明書 |
1本 |
|
|
法蘭支撐架 |
1 份 |
|
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供氣系統
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1臺 |  |
| 抽氣系統 | 1臺 |  |
| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數） | N個 |  |
| 閥門接頭 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數) | NX5 |  |
