1200度三溫區可調真空CVD系統
詳細技術參數
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TL1200-1200-1200 管式爐
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型號 |
TL1200-1200-1200-PECVD-I |
TL1200- 1200-1200-PECVD-II |
TL1200-1200-1200-PECVD-III |
TL1200-1200-1200-PECVD-IV |
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功率 |
4.5KW |
4.5KW |
6KW |
6KW |
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| 爐管尺寸（mm） |
高純石英管:60/80/100/120*1200mm(管徑可選） 兩邊各放置一個爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
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外形尺（LXDXH） |
1700X700X1400 |
1700X700X1400 |
1700X700X1400 |
1700X700X1450 |
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電源電壓 |
220V |
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相數 |
單相 |
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加熱元件 |
國產優質電阻絲（可選配進口瑞典Canthal A1 電阻絲） 點擊進入資料下載 |
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控制方式
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采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節。 2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時， 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進口儀表，需要另外付費，選購） |
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控溫模式 |
智能PID |
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斷偶保護和顯示 |
有 |
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過溫保護 |
有 |
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過流保護 |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發器 |
移相觸發 |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
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最高溫度 |
溫區一：1200 ℃ 溫區二：1200 ℃ 溫區三：1200 ℃ |
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額定溫度 |
溫區一：1100 ℃ 溫區二：1100 ℃ 溫區三：1100 ℃ |
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升溫速率 |
≤35 ℃/ Min （可根據要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤15℃/ Min |
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熱電偶型號 |
溫區一：K 型 溫區二：K型 溫區三：K型 |
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加熱段長度 |
溫區一：200mm 溫區二：200 mm 溫區三：200 mm |
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電器認證 |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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閥門和法蘭
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量程和氣體 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） |
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耐壓 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作（使用）壓力 |
0.3MPa |
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線性 |
±0.5%F.S. |
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重復精度 |
±0.2% F.S |
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路數 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） |
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接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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系統工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
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工作溫度 |
5-45℃ |
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壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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靜態混氣室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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電源 |
220V |
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尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統抽爐管真空度可達 |
10 -1Pa |
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真空擋板閥 |
KF25 |
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型號 |
VRD-8 |
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極限分壓強 |
5X10-2 Pa |
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進排氣接口 |
KF25 |
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電機轉速 |
1440RPM |
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抽氣速率 |
2.2L/S |
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電機功率 |
0.4KW |
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型號 | ACP15 | ||||
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | |||||
| 功率 | 450W | |||||
| 重量 | 25KG | |||||
| 最高氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | |||||
| 極限壓強 | 0.02Torr | |||||
| 進、排氣接口 | KF25 | |||||
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型號 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度測量范圍 |
0.1-10 5 Pa |
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電阻硅 |
ZJ-52T |
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（方案二）
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型號 |
PCG554 |
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輸入電壓 |
24V 1A DC（配有220V變壓器） |
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真空計接口 |
KF16 |
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數字顯示 |
數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr |
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產品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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檢測氣體 |
可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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響應時間 |
≤30ms |
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測量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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分子泵機組（選購）
（方案一或方案二任選一個） |
機組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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機箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵 （方案一）
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分子泵型號 |
FJ620 |
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輸入電壓 |
380V |
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分子泵進氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟東壓強 |
<100pa |
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分子泵前級真空TRP-24 (FJ620分子泵必須要配此前級泵) （方案二）
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
380V |
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轉速 |
1450rpm |
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進氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機泵抽氣速率（L/S） |
6 |
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極限壓強 |
4X10 -2Pa |
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電壓 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽氣接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前機泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽氣速率（N2） |
33L/S |
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復合真空計
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復合真空計型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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質保期
一年保修，終身技術支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
注意事項
1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當
4.對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統 ，最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統是由4路供氣系統+TL1200-1200-1200三溫區管式爐+可調真空系統組成。
這款管式爐以電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點，是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品.。
軟件控制系統：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。（選配）
1、 電阻絲爐膛
(1)、使用真空吸附成型工藝，將加熱元件嵌入固定在耐火材料內，是集發熱和隔熱的為一體的電熱模塊單元
(2)、使用溫度高達1250度，具有卓越的加熱效果和熱穩定性
(3)、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本成熟的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場
(4)、采用4周加熱，溫場更加均衡
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
大 電阻均勻 、 發熱量均衡
溫場效果好
2、安裝有空氣開關和漏電保護器：
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
、
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出
5、可選UL認證電氣板 （全部通過UL認證的進口電器）
6、不銹鋼支撐架
7、認證
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8、法蘭
鉸鏈式法蘭（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
標準配件
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描敘 |
數量 |
圖片 |
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TL1200-1200-1200管式爐 |
1 套 |
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石英管 |
1根 |
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不銹鋼法蘭 |
1 套 |
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|
不銹鋼爐鉤 |
1 個 |
|
|
氧化鋁爐塞 |
1對 |
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高溫手套 |
1 雙 |
|
|
氧化鋁坩堝 |
1 個 |
|
| Ｋ型熱電偶 | 3個 |  |
|
485轉換接口和軟件（選配） |
1 套 |
|
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說明書 |
1本 |
|
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法蘭支撐架 |
1 份 |
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供氣系統 |
1臺 |  |
| 抽氣系統 | 1臺 |  |
| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數） | N個 |  |
| 閥門接頭 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數) | NX5 |  |
