1200度單溫區(qū)四通道可調(diào)真空滑動管式爐
主要技術參數(shù)
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TL1200雙管管式爐
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型號 |
TL1200-D-C-I |
TL1200-D-C-II |
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功率 |
3.5KW |
3.5KW |
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爐管尺寸(mm) |
Dia（ID73） 80 X1500 |
Dia 100(ID93) X1500 |
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外形尺寸（LXDXH） |
1800X700X1500 |
1800X700X1500 |
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電源電壓 |
220V |
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相數(shù) |
單相 |
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加熱元件 |
國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲（可選配Kanthal A1進口 電阻絲） 點擊進入資料下載 |
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控制方式
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采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時， 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進口儀表，需要另外付費，選購）
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控溫模式 |
智能PID |
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斷偶保護和顯示 |
有 |
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過溫保護 |
有 |
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過流保護 |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
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最高溫度 |
1200 ℃ |
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額定溫度 |
1100 ℃ |
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升溫速率 |
≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤15℃/ Min |
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熱電偶型號 |
K 型 |
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加熱段長度 |
400mm |
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溫場曲線 |
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溫度校準（選配） |
定期對管式爐進行溫度校準，可保持爐溫的準確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準工具，輔助您完成這項工作，完整的校準套件包括標準熱電偶，溫度校準儀，補償導線 |
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電器認證 |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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閥門和法蘭
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流量控制和檢測采用
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采用質(zhì)子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型） |
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3MP |
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±1.5% |
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<0.01mpa< p=""> |
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±0.2% F.S |
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路數(shù) |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） |
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接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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系統(tǒng)工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
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工作溫度 |
5-45℃ |
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壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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靜態(tài)混氣室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 1/4” |
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VS-0.1抽氣系統(tǒng)
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電源 |
220V |
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尺寸 |
600X600X600 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達 |
10 -1Pa |
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真空擋板閥 |
KF25 |
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型號 |
VRD-8 |
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極限分壓強 |
5X10-2 Pa |
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進排氣接口 |
KF25 |
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電機轉(zhuǎn)速 |
1440RPM |
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抽氣速率 |
2.2L/S |
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電機功率 |
0.4KW |
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無油多級羅茨泵
（方案 二） |
型號 | ACP15 | ||
| 電源 | AC100~240V 50/60HZ | |||
| 功率 | 450W | |||
| 抽、排氣接口 | KF25 | |||
| 重量 | 25KG | |||
| 最大氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||
| 極限真空度 | 0.02 Torr | |||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | |||
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電阻真空計 |
型號 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度測量范圍 |
0.1-10 5 Pa |
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電阻硅 |
ZJ-52T |
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（選購）
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型號 |
PCG554 |
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輸入電壓 |
24V 1A DC（配有220V變壓器） |
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真空計接口 |
KF16 |
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數(shù)字顯示 |
數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr |
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產(chǎn)品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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檢測氣體 |
可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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響應時間 |
≤30ms |
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測量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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分子泵機組（選購）
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機組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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機箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵
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分子泵型號 |
FJ620 |
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輸入電壓 |
380V |
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分子泵進氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃< p=""> |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟東壓強 |
<100pa< p=""> |
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（方案一）
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
380V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機泵抽氣速率（L/S） |
6 |
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極限壓強 |
4X10 -2Pa |
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電壓 |
220V |
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功率 |
110W |
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極限真空度（在無泄露時） |
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抽氣接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前機泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽氣速率（N2） |
33L/S |
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復合真空計
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復合真空計型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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質(zhì)保期
一年保修，終身技術支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當
4.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
CVD系統(tǒng) 由供氣系統(tǒng)+雙管管式爐+抽氣系統(tǒng) ，最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+TL1200雙管管式爐+低真空系統(tǒng)組成
滑動式雙管爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，是專門為在金屬箔（像銅箔、鋁箔等）上生長薄膜而設計，廣泛應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究上，特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長。這款雙管式爐以電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點。
雙管管式爐爐底安裝一對滑軌，可用手推滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/min。為取得最快加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。
1、瑞典Kanthal A1 電阻絲
Kanthal A1 原絲 進口電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站：www.kanthal.com
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
Kanthal A1 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
溫場效果好
2、安裝有空氣開關和漏電保護器：
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
、
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認證電氣板 （全部通過UL認證的進口電器）
6、認證
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7、法蘭
鉸鏈式法蘭（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
可調(diào)真空：通過調(diào)節(jié)真空擋板閥閥門開關和用微電腦調(diào)節(jié)真空泵電機的轉(zhuǎn)速來實現(xiàn)雙管管式爐內(nèi)真空度在10-10000Pa之間某一范圍內(nèi)恒定。
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描述 |
數(shù)量 |
圖片 |
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TL1200雙管 管式爐 |
1 臺 |
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石英管 Dia80X1500 |
1 根 |
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| 內(nèi)石英管 | 1 根 |
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不銹鋼雙管法蘭 |
1 對 |
|
|
不銹鋼爐鉤 |
1根 |
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氧化鋁爐塞 |
3對 |
|
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高溫手套 |
1 雙 |
|
|
氧化鋁坩堝 |
1 個 |
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|
COM轉(zhuǎn)USB接口（選購軟件系統(tǒng)時標配） |
1 付 |
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說明書 |
1 份 |
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軟件（選購軟件系統(tǒng)時標配） |
1 份 |
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