1200度原子層氣相沉積系統
|
型號 |
ALD-TL1200-PE -I |
ALD-TL1200-PE -II |
ALD-TL1200-PE -III |
|||
|
展示視頻 |
||||||
|
ALD 控制面板 |
1 、5路控制溫控系統，可以加熱ALD里管路和ALD容器內液體 2、2路氣體脈沖交替控制系統（交替時間、交替次數等、用單片機或PLC 控制能夠達到ms） |
|||||
|
ALD閥門 |
1、能夠在不到 5 ms 內完成閥門開啟或關閉 2、高速執行下的超高循環壽命、在產品評估是循環次數超過了25000000次 3、耐 熱 執 行 器 、耐 溫 高 達200°C（392°F） |
|||||
|
ALD原理
|
ALD化學氣相沉積是將不同的反應前驅物以氣體脈沖的形式交替送入反應室中并在沉積基體上化學吸附并反應而形成沉積膜的一種方法（技術） |
|||||
|
源瓶
|
源瓶特點 1、所用管件采用316L不銹鋼，內部經400目機械拋光和電化學拋光，Ra≤0.25μm。 2、閥門采用美國世偉洛克球閥或隔膜閥。 3、密封墊片采用純銀鍍鎳墊片。 4、氦質譜檢測泄漏率≤1.0*10mba L/s。 5、可盛裝化學品純度≥99.9995%。 6、總殘余元素量≤50PPb。 |
|||||
|
ALD-PECVD簡圖
|
1、 2個石英容器與ALD管路連接 2、 2個ALD閥門、控制2路管道交替脈沖輸入 3、多根加熱管給ALD管道和石英容器加熱、保證被汽化液體保持汽化狀態進入反應區域。 4、多個球閥控制管路的通過。 5、多個旁通支路、可以通氣其他氣體或運載氣體。 |
|||||
|
源瓶和流量計分布圖 |
每個源瓶都有一個加熱包，管道也纏了加熱帶 |
|||||
|
功率 |
3.5KW |
|||||
|
TL1200 管式爐
|
爐管尺寸 |
Dia 60(OD) X1800mm |
Dia 80(OD) X1800mm |
Dia 100(OD) X1800mm |
||
|
外形尺（LXDXH） |
1300X410X610 |
1300X410X610 |
1300X410X660 |
|||
|
電源電壓 |
220V |
|||||
|
相數 |
單相 |
|||||
|
加熱元件 |
國產優質電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進口電阻絲） 點擊進入資料下 |
|||||
|
控制方式
|
采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節。 2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時， 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進口儀表，需要另外付費，選購）
|
|||||
|
控溫模式 |
智能PID |
|||||
|
斷偶保護和顯示 |
有 |
|||||
|
過溫保護 |
有 |
|||||
|
過流保護 |
有 |
|||||
|
控制精度 |
+/- 1 ℃ |
|||||
|
觸發器 |
移相觸發 |
|||||
|
電器 |
浙江正泰 |
|||||
|
可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
|||||
|
最高溫度 |
1200 ℃ |
|||||
|
額定溫度 |
1100 ℃ |
|||||
|
升溫速率 |
≤20 ℃/ Min （可根據要求修改） |
|||||
|
推薦升溫速率 |
≤10℃/ Min |
|||||
|
熱電偶型號 |
K 型 |
|||||
|
加熱段長度 |
440mm |
|||||
|
電器認證 |
|
|||||
|
四周表面溫度 |
≤45℃ |
|||||
|
|
功率輸出范圍 |
0-500W |
||||
|
最大反射功率 |
200W |
|||||
|
工作頻率 |
射頻：13.56MHZ±0.005% |
|||||
|
功率穩定度 |
+/-0.1% |
|||||
|
諧波分量 |
≤-50dbc |
|||||
|
射頻區域寬度 |
0-600mm 可調 |
|||||
|
匹配方式 |
自動 |
|||||
|
冷卻方式 |
分冷 |
|||||
|
噪聲 |
<50dB |
|||||
|
射頻接口 |
50Ω N-type |
|||||
|
輸入電源 |
208-240V 50/60HZ |
|||||
|
|
|
量程和氣體 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） |
|||
|
耐壓 |
3MP |
|||||
|
流量控制精度 |
±1.0%F.S |
|||||
|
最大工作（使用）壓力 |
0.3MPa |
|||||
|
線性 |
±0.5%F.S. |
|||||
|
重復精度 |
±0.2% F.S |
|||||
|
路數 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） |
|||||
|
接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
|||||
|
系統工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
|||||
|
工作溫度 |
5-45℃ |
|||||
|
壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
|||||
|
靜態混氣室 |
Dia50 X 400MM |
|||||
|
接口 |
Dia6 / 1/4” |
|||||
|
|
電源 |
220V |
||||
|
尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
|||||
|
波紋管 |
KF25X1000mm |
|||||
|
用該系統抽爐管真空度可達 |
10 -1Pa |
|||||
|
真空擋板閥 |
KF25 |
|||||
|
|
型號 |
VRD-8 |
||||
|
極限分壓強 |
5X10-2 Pa |
|||||
|
進排氣接口 |
KF25 |
|||||
|
電機轉速 |
1440RPM |
|||||
|
抽氣速率 |
2.2L/S |
|||||
|
電機功率 |
0.4KW |
|||||
|
|
型號 |
ACP15 |
||||
|
電源 |
AC100-240 50/60HZ |
|||||
|
功率 |
450W |
|||||
|
重量 |
25KG |
|||||
|
最高氦氣漏率 |
5 · 10-8 Pa m3/s |
|||||
|
抽氣速率 |
14 m3/h |
|||||
|
極限壓強 |
0.02Torr |
|||||
|
進、排氣接口 |
KF25 |
|||||
|
|
型號 |
ZDR-1 |
||||
|
功率 |
25W |
|||||
|
真空度測量范圍 |
0.1-10 5 Pa |
|||||
|
電阻硅 |
ZJ-52T |
|||||
|
|
型號 |
PCG554 |
||||
|
輸入電壓 |
24V 1A DC（配有220V變壓器） |
|||||
|
真空計接口 |
KF16 |
|||||
|
數字顯示 |
數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr |
|||||
|
產品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
|||||
|
重量 |
5 lbs |
|||||
|
檢測氣體 |
可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。 |
|||||
|
是否防腐 |
防腐 |
|||||
|
響應時間 |
≤30ms |
|||||
|
測量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
|||||
|
|
機組輸入電壓 |
380V /220V |
||||
|
波紋管 |
KF40X1000 |
|||||
|
真空擋板閥 |
KF40 |
|||||
|
機箱尺寸 |
600X600X600 |
|||||
|
|
分子泵型號 |
FJ620 |
||||
|
輸入電壓 |
380V |
|||||
|
分子泵進氣口法蘭 |
DN160 |
|||||
|
分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
|||||
|
分子泵極限壓強（Pa) |
6×10-7 |
|||||
|
冷卻方式 |
水冷 |
|||||
|
冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
|||||
|
冷卻水溫度 |
<25℃ |
|||||
|
環境溫度 |
0~40℃ |
|||||
|
建議啟東壓強 |
<100pa |
|||||
|
|
功率 |
0.75KW |
||||
|
電壓 |
380V |
|||||
|
轉速 |
1450rpm |
|||||
|
|
進氣口徑 |
KF25/KF40 |
||||
|
前機泵抽氣速率（L/S） |
6 |
|||||
|
極限壓強 |
4X10 -2Pa |
|||||
|
|
電壓 |
220V |
||||
|
功率 |
110W |
|||||
|
抽氣接口 |
KF40 |
|||||
|
重量 |
150KG |
|||||
|
前機泵抽速 |
0.9m 3/ h |
|||||
|
抽氣速率（N2） |
33L/S |
|||||
|
|
復合真空計型號 |
ZDF |
||||
|
電源 |
220V 55W |
|||||
|
控制精度 |
± 1% |
|||||
|
真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
|||||
ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統由管式爐、石英真空室、GX供氣系統、抽氣系統、真空測量系統和ALD系統組成。
這款ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統以Kanthal A1 電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，過零觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能、價格優惠等優點。
開蓋保護系統：該爐安裝有行程開關，當爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者的安全。
1、 電阻絲
原絲 電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、電阻均衡、溫場均衡性好
電阻絲 電阻均勻 、 發熱量均衡
溫場效果好
2、安裝有空氣開關和漏電保護器：
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本成熟的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認證電氣板 （全部通過UL認證的進口電器）
6、認證
.jpg)
7、法蘭
鉸鏈式法蘭（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
|
描敘 |
數量 |
圖片 |
|
TL1200滑動管式爐 |
1 臺 |
|
|
石英管 |
1根 |
|
|
不銹鋼法蘭 |
1 套 |
|
|
不銹鋼爐鉤 |
1 個 |
|
|
石英爐塞 |
1對 |
|
|
高溫手套 |
1 雙 |
|
| Ｋ型熱電偶 | 1個 |  |
|
COM轉USB接口 |
1 套 |
|
|
說明書 |
1本 |
|
|
法蘭支撐架 |
1 份 |
|
|
供氣系統
|
1臺 |  |
| VS-0.1抽氣系統 | 1臺 |  |
| 射頻電源 | 1臺 |  |
| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數） | N個 |  |
| 閥門接頭 | 2 |  |
