1200度立式爐立式單溫區PECVD系統
詳細技術參數
|
VTL1200 立式管式爐
|
型號 |
VTL1200-PECVD-I |
VTL1200-PECVD-II |
VTL1200-PECVD-III |
|
|
功率 |
3.5KW |
3.5KW |
3.5KW |
||
|
爐管尺寸 |
Dia 60(OD) X1200mm |
Dia 80(OD) X1200mm |
Dia 100(OD) X1200mm |
||
|
電源電壓 |
220V |
||||
|
相數 |
單相 |
||||
|
加熱元件 |
國產優質電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進口電阻絲） 點擊進入資料下載 |
||||
|
控制方式
|
采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節。 2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時， 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進口儀表，需要另外付費，選購） |
||||
|
控溫模式 |
智能PID |
||||
|
斷偶保護和顯示 |
有 |
||||
|
過溫保護 |
有 |
||||
|
過流保護 |
有 |
||||
|
控制精度 |
+/- 1 ℃ |
||||
|
觸發器 |
移相觸發 |
||||
|
電器 |
浙江正泰 |
||||
|
可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
||||
|
最高溫度 |
1200 ℃ |
||||
|
額定溫度 |
1100 ℃ |
||||
|
升溫速率 |
≤20 ℃/ Min （可根據要求修改） |
||||
|
推薦升溫速率 |
≤10℃/ Min |
||||
|
熱電偶型號 |
K 型 |
||||
|
加熱段長度 |
200mm |
||||
|
電器認證 |
|
||||
|
四周表面溫度 |
≤45℃ |
||||
|
爐塞、材料放置 |
|||||
|
|
功率輸出范圍 |
0-500W |
|||
|
|
最大反射功率 |
200W |
|||
|
工作頻率 |
射頻：13.56MHZ±0.005% |
||||
|
功率穩定度 |
+/-0.1% | ||||
|
諧波分量 |
≤-50dbc |
||||
|
射頻區域寬度 |
0-600mm 可調 |
||||
|
匹配方式 |
自動 |
||||
|
冷卻方式 |
分冷 |
||||
|
噪聲 |
<50dB |
||||
|
射頻接口 |
50Ω N-type |
||||
|
輸入電源 |
208-240V 50/60HZ |
||||
|
|
|
量程和氣體 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） |
||
|
耐壓 |
3MP |
||||
|
流量控制精度 |
±1.0%F.S |
||||
|
最大工作（使用）壓力 |
0.3MPa |
||||
|
線性 |
±0.5%F.S. |
||||
|
重復精度 |
±0.2% F.S |
||||
|
路數 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） |
||||
|
接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
||||
|
系統工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
||||
|
工作溫度 |
5-45℃ |
||||
|
壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
||||
|
靜態混氣室 |
Dia50 X 400MM |
||||
|
接口 |
Dia6 / 1/4” |
||||
|
|
電源 |
220V |
|||
|
尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
||||
|
波紋管 |
KF25X1000mm |
||||
|
用該系統抽爐管真空度可達 |
10 -1Pa |
||||
|
真空擋板閥 |
KF25 |
||||
|
|
型號 |
VRD-8 |
|||
|
極限分壓強 |
5X10-2 Pa |
||||
|
進排氣接口 |
KF25 |
||||
|
電機轉速 |
1440RPM |
||||
|
抽氣速率 |
2.2L/S |
||||
|
電機功率 |
0.4KW |
||||
| 型號 | ACP15 | ||||
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | ||||
| 功率 | 450W | ||||
| 重量 | 25KG | ||||
| 最高氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | ||||
| 極限壓強 | 0.02Torr | ||||
| 進、排氣接口 | KF25 | ||||
|
型號 |
ZDR-1 |
||||
|
功率 |
25W |
||||
|
真空度測量范圍 |
0.1-10 5 Pa |
||||
|
電阻硅 |
ZJ-52T |
||||
|
|
型號 |
PCG554 |
|||
|
輸入電壓 |
24V 1A DC（配有220V變壓器） |
||||
|
真空計接口 |
KF16 |
||||
|
數字顯示 |
數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr |
||||
|
產品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
||||
|
重量 |
5 lbs |
||||
|
檢測氣體 |
可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。 |
||||
|
是否防腐 |
防腐 |
||||
|
響應時間 |
≤30ms |
||||
|
測量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
||||
|
|
機組輸入電壓 |
380V /220V |
|||
|
波紋管 |
KF40X1000 |
||||
|
真空擋板閥 |
KF40 |
||||
|
機箱尺寸 |
600X600X600 |
||||
|
|
分子泵型號 |
FJ620 |
|||
|
輸入電壓 |
380V |
||||
|
分子泵進氣口法蘭 |
DN160 |
||||
|
分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
||||
|
分子泵極限壓強（Pa) |
6×10-7 |
||||
|
冷卻方式 |
水冷 |
||||
|
冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
||||
|
冷卻水溫度 |
<25℃ |
||||
|
環境溫度 |
0~40℃ |
||||
|
建議啟東壓強 |
<100pa |
||||
|
|
功率 |
0.75KW |
|||
|
電壓 |
380V |
||||
|
轉速 |
1450rpm |
||||
|
進氣口徑 |
KF25/KF40 |
||||
|
前機泵抽氣速率（L/S） |
6 |
||||
|
極限壓強 |
4X10 -2Pa |
||||
|
|
電壓 |
220V |
|||
|
功率 |
110W |
||||
|
抽氣接口 |
KF40 |
||||
|
重量 |
150KG |
||||
|
前機泵抽速 |
0.9m 3/ h |
||||
|
抽氣速率（N2） |
33L/S |
||||
|
|
復合真空計型號 |
ZDF |
|||
|
電源 |
220V 55W |
||||
|
控制精度 |
± 1% |
||||
|
真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
||||
Preiffer ACP15無油多級羅茨泵
質保期
一年保修，終身技術支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
注意事項
1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當使用的爐管為剛玉管時，爐體溫度高于1500℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當
4.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝
VTL1200-PECVD系統，由VTL1200真空立式管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。
主要特點：
1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。
2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。
4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。
5、廣泛應用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。
這款VTL1200-PECVD系統以電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能、價格優惠等優點。
1、瑞典Kanthal A1 電阻絲
Kanthal A1 原絲 進口電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網站：www.kanthal.com
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
Kanthal A1 電阻絲 電阻均勻 、 發熱量均衡
溫場效果好
2、安裝有空氣開關和漏電保護器：
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本成熟的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認證電氣板 （全部通過UL認證的進口電器）
6、認證
.jpg)
7、法蘭
鉸鏈式法蘭（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
8、全圖
VTL1200-PECVD系統標配
|
描敘 |
數量 |
圖片 |
|
VTL1200管式爐 |
1 套 |
|
|
石英管 |
1根 |
|
|
不銹鋼法蘭 |
1 套 |
|
|
不銹鋼爐鉤 |
1 個 |
|
|
氧化鋁爐塞 |
1對 |
|
|
高溫手套 |
1 雙 |
|
|
氧化鋁坩堝 |
1 個 |
|
| Ｋ型熱電偶 | 1 個 |  |
|
485轉換接口和軟件（選配） |
1 套 |
|
|
說明書 |
1本 |
|
|
法蘭支撐架 |
1 份 |
|
|
供氣系統 |
1臺 |  |
| VS-0.1抽氣系統 | 1臺 |  |
| 射頻電源 | 1臺 |
|
| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數） | N個 |  |
| 閥門接頭 | 2個 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數) | NX5 |  |
