2000度提拉法晶體生長爐
這是一款特殊的提拉法（CZ）晶體生長爐（采用感應熔煉對金屬樣品熔化，最高溫度可達2100℃）。此系統采用組成：高頻感應加熱電源，高真空腔體，石墨坩堝和精密提拉機構。
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VIF 真 空 感 應 熔 煉 爐
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型號 |
VIF-CZ |
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最大熔煉重量（按鐵液計算） |
1Kg |
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最高加熱溫度 |
2100度 |
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高頻加熱電源
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采用電源 |
高頻感應電源 |
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振蕩頻率 |
30-80KHZ |
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最大輸入功率 |
35KW |
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加熱電流 |
12-70A |
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冷卻水要求 |
≥0.2MPa ≥6L/分 |
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電源重量 |
35KG |
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負載持續率 |
100% |
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輸入電壓 |
三相380V 50或60HZ |
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加熱方式 |
感應加熱 |
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腔體內直徑 |
500mm |
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腔體真空度（分子泵機組） |
< 8X10 -4Pa |
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腔體充氣壓力 |
< 0.5MPa |
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升壓率 |
<4Pa/小時 |
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斷偶保護和顯示 |
有 |
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過溫保護 |
有 |
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過流保護 |
有 |
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欠壓保護（水壓） |
有 |
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控溫模式 |
智能PID |
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控制精度 |
+/- 1~ 5 ℃（600度以上） |
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溫度檢測方式 |
B型熱電偶和紅外測溫儀相結合。溫度超過1800度，熱電偶退出，用紅外測溫儀測溫。 B型熱電偶的測量范圍：0-1800℃ 紅外測溫儀的測量范圍：900-2300℃ |
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紅外測溫儀 |
美國進口紅外測溫儀，特點1、響應時間快、高精度； 2、可24小時實時連續在線測溫、安全、耐用； 3、激光瞄準、穩定性好、尤其適合測量高溫小目標； 4、10毫秒的響應時間和±0.3%的重復性精度，保證滿足您進行快速、精確測溫的要求。 |
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觀察窗尺寸 |
Dia 90mm |
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電動攪拌裝置（選配） |
該爐可以配攪拌裝置，可以勻速的對物料進行攪拌，攪拌棒由一個調速電機帶動、攪拌棒與爐體之間采用威爾遜或磁流體和波紋管密封，攪拌棒和電機在電動動絲桿的帶動下可以上下自由滑動，進入坩堝和從坩堝里出來。 |
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提拉機構 |
精密可旋轉（籽晶桿可旋轉）提拉機構，提拉速度為0.1μm/s~2000μm/s 總行程：150mm （可根據客戶需要定制） 籽晶桿轉速：0-40RPM 下面是生長鍺單晶的詳細圖片
原材料熔融 種籽晶 提拉 熔融 |
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真 空 機 組
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機組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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前級機械泵FX-32
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功率 |
1.2KW |
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電壓 |
380V |
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轉速 |
1450rpm |
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進氣口徑 |
KF40 |
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前機泵抽氣速率（L/S） |
8 |
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極限壓強 |
4X10 -2Pa |
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復合真空計 |
復合真空計型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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二級泵 為分子泵 （方案一） |
分子泵 （可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa）
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分子泵型號 |
FJ620 |
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輸入電壓 |
220V |
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分子泵進氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟動壓強 |
<100Pa |
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二級泵為擴散泵
（方案二） |
擴散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa） |
電壓 |
220V |
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功率 |
1000W |
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極限真空度（在無泄露時） |
10E-5Pa |
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進氣接口 |
DN150 |
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出氣接口 |
DN40 |
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注入油量 |
0.3L |
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抽氣速率（N2） |
1000L/S |
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水冷機（選購）
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電源 |
220V 1.68KW |
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最大揚程 |
25M |
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最大流量 |
16L/min |
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水箱容量 |
15L |
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制冷量 |
4420Kcal/h |
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出入水口 |
Rp1/2’’ |
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機器尺寸 |
67X47X89(長X寬X高) |
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注意事項
1、此款熔煉爐需在真空或氣壓小于0.02MPa（相對氣壓）的低壓條件下使用；
2、若用戶需要在氣氛條件下進行實驗，必須在進氣氣瓶上安裝減壓閥，減壓閥的氣壓設置要小于0.02MPa，
進氣流量<200SCCM（200ml/min)
3、請您仔細閱讀說明書，了解真空熔煉和惰性氣體環境下熔煉的標準操作程序。在操作過程中請密切監控并正確控制反
應容器內部壓力，否則，操作失敗可能導致設備損壞或人身傷害
4、對樣品加熱時，不建議關閉抽氣閥和進氣閥使用。若氣閥關閉對樣品加熱，要時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數
大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥，以防不可預見的損失
如您需要定制，請聯系我公司工程師
一、設備特點
1、采用臥式爐體，側部開門結構，進出料方便，爐體結構緊湊，占地空間較小。
2、可以50段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時間。
3、可以方便的更換不同的線圈以滿足不同大小的晶體生長。
4、安裝有觀察孔，可以清晰的爐內坩堝物料的情況。
5、安裝有紅外測溫儀，可以精確的測量加熱套的溫度。
6、配有分子泵，真空度可達8X10-4Pa
7、安裝有水冷機，水冷機具有欠壓和斷水報警，使用安全可靠。
8、采用IGBT電源，具有過溫、斷水保護并具有報警、輸出電流顯示等功能。
12、廣泛應用于大專院校及科研單位等在真空或保護氣氛條件下晶體的生長。
二、結構說明
本產品由爐蓋、爐體、氣氛控制系統、真空系統、IGBT 電源、控制系統、水冷系統、工作臺、電控系統等組成 ，爐體、氣氛控制系統、電控系統和水冷系統等組成部分都安裝在設備臺架上，使整個設備成為一體,爐架下安裝有水平調節輪、不但可以自由的拖動，并有調節水平的功能。
1、爐體：為全304不銹鋼結構，氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結構，保證爐殼溫度不超過40℃。爐蓋采用前開門結構，爐蓋打開方式為手動，并加有鎖緊裝置，爐蓋上設有觀察孔，方便觀察爐內情況。爐體上安裝有進出氣口、與水冷機連接的進出水口和安裝有連接爐體內澆注裝置的進出水管。
2、爐架：由型鋼鋼板組焊成柜架結構，爐體安置在爐架上。
3、溫控系統(選購測溫元件時)：溫控系統是由測溫系統，溫控儀表組成，爐體上配有紅外測溫儀，把紅外測溫儀輸出的1-5V信號通過控溫儀表轉換為溫度信號，控溫儀表可以控制感應爐的輸出功率，這樣形成一個閉合回路，可以對爐子的升溫進行編程控制，可以進行50段程序控溫，控溫精度準確，升溫速率可調，并可以進行恒溫，以方便控制澆鑄時的溫度控制。
供貨范圍
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序號 |
產品名稱 |
生產廠家 |
數量 |
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1 |
爐體系統 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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2 |
直聯泵 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 臺 |
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3 |
擴散泵 |
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1 臺 |
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4 |
復合真空計 |
成都正華 |
1 臺 |
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5 |
IGBT 電源 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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6 |
匯流水管 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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7 |
高真空閥門 |
川北科技 |
3 件 |
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8 |
感應線圈 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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9 |
真空管路 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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10 |
說明書 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
2 套 |
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11 |
紅外測溫儀 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1套 |
| 12 | 提拉機 | 南京博蘊通儀器科技有限公司 | 1套 |
