VS高真空系統
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分子泵機組
（方案一或方案二任選一個） |
機組輸入電壓 |
220V |
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波紋管 |
KF25X1000 |
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真空擋板閥 |
KF25 |
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機箱尺寸 |
730X650X1250 |
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分子泵 （方案一）
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分子泵型號 |
FF-100/300 |
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輸入電壓 |
220V |
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分子泵進氣口法蘭 |
DN100 |
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分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
300 |
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分子泵極限壓強（Pa) |
5×10-7 |
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冷卻方式 |
風冷 |
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環境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟動壓強 |
<100pa |
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分子泵前級真空泵VDR-16
（方案一）
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
220V |
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轉速 |
1450rpm |
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進氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機泵抽氣速率（L/S） |
4 |
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極限壓強 |
4X10 -2Pa |
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電壓 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽氣接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前機泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽氣速率（N2） |
33L/S |
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復合真空計
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復合真空計型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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VDR-16真空泵 |
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電阻真空計 |
進口電阻真空計 （可選） |
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國產電阻真空計（標配） |
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波紋管 |
KF25（標配） |
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KF40 （可選） |
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真空擋板閥 |
KF25（標配） |
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KF40（可選） |
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KF卡套 標配3套 |
KF25（標配） |
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KF40（可選） |
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變徑法蘭 |
KF25（標配） |
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KF40（可選） |
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