冷坩堝晶體提拉爐
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冷 坩 堝 晶 體 提 拉 爐
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型號 |
VLF-CZ |
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簡介 |
這是一款特殊的提拉法晶體生長爐，采用懸浮熔煉對金屬或合金樣品熔煉，最高溫度3000℃。這套設備有高頻感應加熱電源、高真空腔體、水冷銅坩堝，精密提拉機構組成。 |
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優點 |
1、溫度高，最高3000℃ 2、采用懸浮熔煉冷坩堝，避免了坩堝的污染，可得到高純度金屬單晶或合金單晶 3、也可做懸浮熔煉爐使用，可澆鑄 |
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技術方案 |
1、提拉桿安裝在波紋管內，上下升降時，腔體真空度不泄漏 2、籽晶安裝在提拉桿下方，原料熔化后，慢慢提拉籽晶，邊提拉邊旋轉，即可長出單晶 種籽晶 提拉 |
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最高加熱溫度 |
3000 |
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懸浮電源 |
最大輸入功率 |
120KW |
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采用電源 |
IGBT懸浮專用電源 |
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振蕩頻率 |
15-30KHZ（頻率自動跟蹤） |
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冷卻水要求 |
電源≥0.2MPa 坩堝 ≥0.5MPa |
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感應線圈 |
懸浮爐專用線圈 |
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輸入電壓 |
三相380V 50 HZ |
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融化速率 |
10~15min |
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坩堝 |
懸浮專用水冷銅坩堝 |
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坩堝內尺寸 |
Dia40X50mm |
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水冷銅坩堝 |
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精密提拉機構 |
提拉速度：0.1-2000μm/s 提拉行程：0-100mm （可根據客戶需要定制） 轉速：0-40RPM |
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腔體內尺寸 |
Dia700X800 |
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腔體真空度 |
< 5X10 -4Pa（配分子泵，冷態極限真空度） |
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斷偶保護和顯示 |
有 |
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過溫保護 |
有 |
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過流保護 |
有 |
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欠壓保護（水壓） |
有 |
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真空腔體內是否可接水冷坩堝 |
可以 |
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二次加料器（選購）
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為了在真空熔煉過程中添加各種元素，因此在加料器里裝有特制的4格加料器料斗，加料器有蓋，能把加料器進行真空密封。在熔煉抽真空之前，把元素預先放在加料器料斗中，在添加元素時借手輪轉動加料器料斗，元素便從加料器口流出，流入到熔融金屬液面上，避免噴濺
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觀察窗尺寸 |
Dia 90mm |
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真 空 機 組
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機組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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分子泵 （方案一）
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分子泵型號 |
FF160/620 |
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輸入電壓 |
220V |
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分子泵進氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟動壓強 |
<10Pa |
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前機真空泵TRP-24
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
220V |
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轉速 |
1450rpm |
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進氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機泵抽氣速率（L/S） |
6 |
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極限壓強 |
4X10 -2Pa |
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擴散泵TK150 （方案二）
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電壓 |
220V |
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功率 |
1000W |
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極限真空度（在無泄露時） |
10E-5 | |||
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進氣接口 |
DN150 |
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出氣接口 |
DN40 |
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注入油量 |
0.3L |
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抽氣速率（N2） |
1000L/S |
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復合真空計
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復合真空計型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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VLF-CZ冷坩堝晶體生長爐
冷坩堝晶體生長爐爐是將分瓣水冷銅坩堝置于強大的交變磁場中，利用感應渦流加熱水冷銅坩堝中的金屬使其融化，依靠電磁力使熔融金屬與水冷銅坩堝不產生密切接觸。這樣就避免了坩堝對需要熔煉材料的污染，金屬熔化后，籽晶桿邊旋轉邊提拉，從而能夠生長出高純度的金屬單晶或合金單晶。
一、本設備特點
1、采用臥式爐體，側部開門結構，進出料方便，爐體結構緊湊，占地空間較小
2、可以30段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時間。
3、可以方便的更換不同的線圈以滿足熔煉不同KG數的物料
4、安裝有觀察孔，可以清晰的爐內坩堝物料的情況
5、可安裝紅外測溫儀，可以精確的測量坩堝內液體的溫度（選購）
6、配有擴散泵或分子泵機組，真空度可達5X10-3Pa
7、電極和坩堝可以在爐體外手動轉動，液體可以在腔體內完成傾倒和澆鑄，這樣就避免了澆鑄的危險和可以在真空下澆鑄。
8、具有二次加料系統。
9、轉動電極和爐體之間采用威爾遜密封，密封性能好，轉動較輕松。
10、安裝有水冷機，水冷機具有欠壓和斷水報警，使用安全可靠（選購）。
11、采用IGBT電源，具有過溫、斷水保護并具有報警、輸出電流顯示等功能。
12、VLF系列真空懸浮熔煉爐是一款專用的現代化高純度熔煉設備，該設備真空度高、結構緊湊、外形美觀，是一款適合于大專院校、科院院所和工礦企業等做材料高純熔煉、鑄造用的理想產品。本產品主要在真空或保護氣氛條件下對金屬材料（如鈦、鎳、鈷等合金）及稀土超磁、伸縮合金、濺射靶材、多晶硅、高純稀土金屬的冶煉和提純。
二、設備優點點
1、能夠熔煉高熔點的金屬材料；
2、由于沒有來自坩堝的雜質，可以生長超高純度的金屬單晶；
4、縮短熔化時間，達到快速熔化；
5、對水冷銅坩堝的損傷較小，水冷紫銅坩堝具有良好的使用壽命；
6、水冷銅坩堝和熔融的金屬液之間的軟接觸，減少了坩堝的冷卻負載，減少了熱量損失，降低能耗；
7、金屬熔液在非接觸狀態下容易從坩堝內倒出；
三、水冷系統（選購）：感應爐、水冷銅坩堝上需要水冷卻。
四、結構說明
本產品由爐蓋、爐體、回轉機構、澆注裝置、充氣系統、真空系統、IGBT 電源控制系統等組成
1、爐體：為全不銹鋼結構。爐殼采用雙層水冷結構，保證爐殼溫度不超過60℃。爐蓋打開方式為手動，并加有鎖緊裝置，爐蓋上設有觀察孔，方便觀察爐內情況。
2、爐架：由型鋼鋼板組焊成柜架結構，爐體安置在爐架上。
3、回轉機構：與爐體用法蘭連接，感應線圈由銅管繞成螺旋形從爐體引出，采用威爾遜密封，密封可靠，坩堝可放在感應線圈上通過旋轉機構做任意角度旋轉以完成溶化后的熔液傾倒澆鑄。
4、真空系統：采用二級泵，即一臺擴散泵（分子泵）與一臺直聯泵，真空機組上設有高真空擋板閥以及KF 快速連接真空放氣閥和充氣閥。
5、電源控制系統：IGBT 懸浮專用電源、全數字電路等，電氣系統設有過流、過壓返饋及保護電路，電控屏箱按西門子標準制作，控溫精度高，操作方便。
6、水冷系統：由各種閥、管道等相關裝置組成，并設有斷水時聲光報警、自動切斷加熱電源功能。
7、水溫檢測：安裝有溫度計檢測水冷銅坩堝的出水溫度，溫度過高時會自動保護，以免水冷銅坩堝被燒壞。
8、精密提拉機構：可邊旋轉邊提拉
供貨范圍:
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序號 |
產品名稱 |
生產廠家 |
數量 |
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1 |
爐體系統 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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2 |
分子泵（或擴散泵） |
KYKY （成都南光） |
1 臺 |
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3 |
紅外測溫儀 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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4 |
復合真空計 |
成都正華 |
1 臺 |
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5 |
IGBT懸浮專用電源 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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6 |
匯流水管 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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7 |
氣動真空擋板閥 |
川北科技 |
3 件 |
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8 |
懸浮專用水冷線圈 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1套 |
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9 |
真空管路 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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10 |
說明書 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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11 |
機械泵 |
北京優成 |
1臺 |
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12 |
懸浮專用水冷銅坩堝 |
南京博蘊通儀器科技有限公司 |
1 套 |
