6英寸石墨烯晶圓生長設(shè)備
技術(shù)參數(shù)
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型號(hào) |
SP-6VIM |
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優(yōu)點(diǎn) |
1、采用立式爐體，正面開門結(jié)構(gòu)，進(jìn)出料方便，爐體結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間??； 2、可以50段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時(shí)間。 3、比管式爐更安全，沒有斷管子的風(fēng)險(xiǎn) 4、可以在更大尺寸的晶片上生長石墨烯 5、帶有三路供氣系統(tǒng)，可在觸摸屏上直接設(shè)置流量，數(shù)字顯示，操作簡單 6、安裝有穩(wěn)壓系統(tǒng)，可把爐體內(nèi)氣壓穩(wěn)定在某一數(shù)值 7、帶有氣體分散系統(tǒng)，可將進(jìn)入爐腔內(nèi)的氣體盡可能的分散，使反應(yīng)更加均勻 8、安裝有水冷機(jī)，水冷機(jī)具有欠壓和斷水報(bào)警，使用安全可靠。 9、采用IGBT電源，具有過溫、斷水保護(hù)并具有報(bào)警、輸出電流顯示等功能。 |
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最大輸入功率 |
39KW（感應(yīng)電源35KW+真空泵0.75KW+冷水機(jī)3.2KW） |
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最高溫度 |
1800℃ |
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外形尺寸 |
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銅圈尺寸 |
274mm(OD)X250mm(ID)X80mm(H) |
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石墨盤尺寸 |
外徑160mm，壁厚2mm，內(nèi)高15mm，外高25mm |
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石英管 |
250mm(OD)X240mm(ID)X450mm(H) |
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工作電壓 |
三相 AC380V 50Hz |
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中頻電源 |
功率 |
35KW |
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振蕩頻率 |
1~20KHZ |
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加熱電流 |
10~70A |
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| 加熱電壓 | 70~550V | |
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負(fù)載持續(xù)率 |
100% |
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冷卻水要求 |
≥0.2MPa ≥6L/分 |
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| 保護(hù) | 帶有欠水壓、過熱、過功率保護(hù) | |
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氣體分散裝置 |
多孔石英板位于石墨盤正上方，氣體從上法蘭進(jìn)氣口進(jìn)來后，經(jīng)過多孔石英板被分散之后與石墨盤中物料充分接觸，反應(yīng)更均勻 |
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穩(wěn)壓系統(tǒng)
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穩(wěn)壓系統(tǒng)由真空泵、英國歐陸控制器、宇電控制器、壓力變送器、電容規(guī)等組成。 在進(jìn)氣量小于2000SCCM，此穩(wěn)壓系統(tǒng)可將腔體內(nèi)壓力控制在0~20000Pa范圍內(nèi)的某一數(shù)值。壓力波動(dòng)±1Pa 宇電控制器和壓力變送器用于控制真空泵的啟動(dòng)和粗略真空控制，壓力變送器量程-100KPa~100KPa 歐陸儀表和電容規(guī)用于精確控制真空，壓力測量范圍0~20000Pa |
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供氣系統(tǒng)
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供氣系統(tǒng)由質(zhì)量流量計(jì)，液晶屏，控制軟件組成，可在液晶屏上直接輸入流量數(shù)值，精準(zhǔn)控制流量 |
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物料升降平臺(tái) |
物料可以通過自動(dòng)升降平臺(tái)到加熱區(qū)、降下來后可從爐門處拿出。 1、升降平臺(tái)行程 300mm 2、升降平臺(tái)升降速度 0.1um-2000um/s 3、升降平臺(tái)上下都做了限位，最大限度的保護(hù)設(shè)備 4、放料取料都很方便 |
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不銹鋼支架 |
不銹鋼支架垂直固定在移動(dòng)架子上，石英管和法蘭通過支撐板固定于不銹鋼支架上，非常牢固、緊湊 |
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下真空法蘭 |
下不銹鋼法蘭上帶有高溫硅膠O型圈，并焊接有KF25接頭、KF16接口和進(jìn)氣閥門，KF25接頭上安裝有真空擋板閥，1米長波紋管連接于該閥和真空泵，KF16接口可接真空計(jì) |
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上真空法蘭 |
上真空法蘭安裝有壓力表和進(jìn)氣閥，法蘭蓋配有2種，一種帶玻璃觀察窗，可觀察管內(nèi)物料融化的情況，一種熱電偶，可對(duì)物料進(jìn)行程序升溫 |
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耐火材料 |
爐管內(nèi)的耐火裝置由日本三菱1900型氧化鋁纖維制成，最高溫度可耐1800℃，頂部開有小孔，可插入熱電偶 |
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保護(hù)裝置 |
在爐管的四周安裝有鋼化玻璃和固定鋼化玻璃的鋁型材，可以很好的保護(hù)使用者的安全 |
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控溫系統(tǒng)
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采用PID控制，可對(duì)物料進(jìn)行程序控溫加熱，可同時(shí)手動(dòng)調(diào)節(jié)電流輸出大小，設(shè)備帶有過溫保護(hù) |
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熱電偶 |
鎢錸5/26 |
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控溫精度 |
+/-5℃ |
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保護(hù)玻璃 |
在爐管的四周安裝有鋼化玻璃和固定鋼化玻璃的鋁型材，可以很好的保護(hù)使用者的安全 |
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真空泵 |
型 號(hào) | YTP750-4H |
| 功 率 | 0.75KW | |
| 電源電壓 | 三相380V | |
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轉(zhuǎn) 速 |
1420r/min | |
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水冷機(jī)（選購）
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型 號(hào) |
HZ-03A |
| 最大揚(yáng)程 | 38M | |
| 制冷量 | 7.224*10³kcal/h | |
| 水箱容量 | 60L | |
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輸入總功率 |
3.2KW |
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機(jī)器尺寸 |
520X1150X1145(長X寬X高) |
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認(rèn)證 |
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質(zhì)保期 |
1年，耗材除外 |
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| 注意事項(xiàng) |
1、此款熔煉爐需在真空或氣壓小于0.02MPa（相對(duì)氣壓）的低壓條件下使用； 2、若用戶需要在氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，必須在進(jìn)氣氣瓶上安裝減壓閥，減壓閥的氣壓設(shè)置要小于0.02MPa， 進(jìn)氣流量<200SCCM（200ml/min) 3、請(qǐng)您仔細(xì)閱讀說明書，了解真空熔煉和惰性氣體環(huán)境下熔煉的標(biāo)準(zhǔn)操作程序。在操作過程中請(qǐng)密切監(jiān)控并正 確控制反應(yīng)容器內(nèi)部壓力，否則，操作失敗可能導(dǎo)致設(shè)備損壞或人身傷害 4、對(duì)樣品加熱時(shí)，不建議關(guān)閉抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若氣閥關(guān)閉對(duì)樣品加熱，要時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥，以防不可預(yù)見的損失 如您需要定制，請(qǐng)聯(lián)系我公司工程師 |
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本產(chǎn)品由石英管、爐體、升降裝置、不銹鋼水冷法蘭、耐火材料、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、穩(wěn)壓系統(tǒng)及中頻電源控制系統(tǒng)等組成：
1、爐體：爐體由電器柜，不銹鋼支架組成，不銹鋼支架固定在電器柜上，用于支撐法蘭。
2、不銹鋼支架：不銹鋼支架垂直固定在電器柜上，石英管和法蘭通過支撐板固定于不銹鋼支架上，非常牢固、緊湊
3、不銹鋼法蘭：上真空法蘭安裝有熱電偶和進(jìn)氣閥，熱電偶，可對(duì)物料進(jìn)行程序升溫。下不銹鋼法蘭上焊接有真空腔體，在真空腔體上開有爐門，可從該爐門拿取物料、腔體上焊接有KF25接頭，可接四通，安裝真空擋板閥，1米長波紋管連接于該閥和真空泵，KF16接口可接真空計(jì)
4、溫控系統(tǒng)和熱電偶：用PID控制，可對(duì)物料進(jìn)行程序控溫加熱，可同時(shí)手動(dòng)調(diào)節(jié)電流輸出大小，設(shè)備帶有過溫保護(hù)
5、電器柜：由型鐵板組焊成柜架結(jié)構(gòu)，靜電噴涂工藝。
6、水冷系統(tǒng)：由各種閥、管道等相關(guān)裝置組成，斷水時(shí)感應(yīng)電壓會(huì)聲光報(bào)警、自動(dòng)切斷加熱電源。
7、加熱電源：電源采用最新技術(shù)，整套電源相當(dāng)于一臺(tái)電腦主機(jī)般大小，外觀小巧、
8、耐火材料：采用日本進(jìn)口氧化鋁纖維材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)。
9、供氣系統(tǒng)：由質(zhì)量流量計(jì)、供氣管道、液晶顯示屏以及控制軟件等組成?？芍苯釉谝壕辽显O(shè)置氣體流量，數(shù)字顯示，控制精準(zhǔn)，操作簡單。
10、真空系統(tǒng)：由真空泵、真空管道、真空計(jì)、電阻規(guī)等組成，該設(shè)備真空度在10Pa左右。
11、穩(wěn)壓系統(tǒng)：由真空泵、英國歐陸控制器、宇電控制器、壓力變送器、電容規(guī)等組成，此穩(wěn)壓系統(tǒng)可將腔體內(nèi)壓力控制在某一數(shù)值，波動(dòng)很小。
