5路質子流量計供( 混)氣系統

5路質子流量計供氣系統參數

一、概述

1．氣體從鋼瓶出來，經過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統的入口，再經過質子流量計控制氣體流量，然后經過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。

2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數盤與質子流量計安裝在同一面板上。

3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。

4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內部全采用四氟管，耐腐蝕性好。

5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。

二、技術參數：

氣路通道：5

氣路流量控制：質子流量控制器。

接口： Φ6

顯示： LED

工作環境溫度: 5~45℃

流量控制器：質子流量控制器（詳細技術參數請查看后面）

四氟管：Φ6外XΦ4內

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格

截止閥：Φ6

三、供氣系統內部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要氣體能正常流出來即可。

四、供氣系統的配置：

1、質子流量計：5個

2、壓力表：1個

3、截止閥門：6個

4、穿板接頭：6個

5、閥門接頭：2個

6、鋼瓶接頭: 5個

7、聚四氟乙烯管：25M

8、混氣罐：1個

9、爐架：1臺

質量流量計技術參數：質子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。

主要指標:

量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意選擇量程）