1200度水平布里奇曼晶體生長爐
詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
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型號 |
TL1200-BG |
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簡介 |
這是一款坩堝可在爐管內(nèi)移動的小型開啟式管式爐，爐管外徑為100mm，設(shè)備最高溫度是1200℃，通過觸摸屏數(shù)字控制器控制樣品臺或坩堝在爐管內(nèi)的位置和溫度，此設(shè)備可進(jìn)行快速熱處理，例如混合物理化學(xué)沉積、快速熱蒸發(fā)以及在各種氣氛下進(jìn)行的水平布里奇曼生長，用于新一代晶體研究 |
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功率 |
3.5 KW |
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移動速度 |
0.1~2000μm/s（可調(diào)） |
| 移動行程 | 0~300mm（可根據(jù)要求定制） |
| 升降程序 |
1、該設(shè)備帶有一塊10寸觸摸屏 2、觸摸屏中內(nèi)置本公司自主研發(fā)的PLC程序，畫面友好，操作簡單 3、軟件做了安全保護(hù)按鈕，防止誤操作損壞設(shè)備 |
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坩堝移動機(jī)構(gòu) |
1、一個(gè)鎧裝熱電偶通過法蘭伸入到爐管內(nèi)，并可隨坩堝移動，可實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品的實(shí)際溫度。 2、通過電機(jī)控制爐管內(nèi)的坩堝，行程可定制 3、通過觸摸屏設(shè)定坩堝的速度和目標(biāo)位置，坩堝移動速度0.1~2000μm/s（可調(diào)） 4、在熱電偶上安裝了一個(gè)微型坩堝舟 5、可根據(jù)要求提供用于晶片的氮化鋁樣品架或石墨平板基地支架，需額外收費(fèi) |
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爐管尺寸 |
Dia100(OD)×1000mm |
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電源電壓 |
220V |
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相數(shù) |
單相 |
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加熱元件 |
國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲（可選配Kanthal A1進(jìn)口 電阻絲） 點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載 |
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控制方式
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采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購）
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爐膛材料 |
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。 2、采用日本技術(shù)成型，不掉渣，保溫好。 3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場 |
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法蘭和閥門 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
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最高溫度 |
1200 ℃ |
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額定溫度 |
1150 ℃ |
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升溫速率 |
≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤10 ℃/ Min |
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熱電偶型號 |
K型 |
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加熱段長度 |
440mm |
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真空度 （選配） |
1、單級泵 TW-1.5A 2、 雙級泵 2XZ-2 3、 VS-0.1真空系統(tǒng)
4、 VS高真空系統(tǒng) 5、 恒壓泵 6、英國PCG550（INFICON）電容真空計(jì) 1、一般粗略抽真空、把爐管里面的氣體趕出來用：TW-1.5A單級泵即可。 2、雙級泵2XZ-2 真空泵能夠把管式爐爐管的真空度抽到10Pa左右。 3、VS-0.1真空系統(tǒng)能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到0.1Pa（并配帶有電阻真空計(jì)顯示）。 4、VS高真空系統(tǒng)（該系統(tǒng)是由分子和機(jī)械泵組成）能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到10-3 Pa。 5、恒壓泵（該系統(tǒng)可以把管內(nèi)壓力控制在-100.0KPa~100.0KPa）。 6、英國（INFICON）電容真空計(jì)（測量范圍3.8x10-5 -1125 Torr、可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復(fù)性好、可選防腐類型PCG554）
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
| 開蓋安全保護(hù)系統(tǒng) |
爐體上帶有空氣開關(guān)和保險(xiǎn)絲 ，當(dāng)電流超過空開的額定電流時(shí)，空開會自動跳開，有效的保護(hù)電爐。 |
| 質(zhì)保期 |
一年保修，終身技術(shù)支持 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
| 注意事項(xiàng) |
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa 3.當(dāng)使用的爐管為石英管時(shí)，爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng) 4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊 5.對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） |
